- 產(chǎn)品信息
- 規(guī)格
- 測(cè)量示例
產(chǎn)品信息
特點(diǎn)
●Φ支持到300mmEFM單元備用端口的集成
●實(shí)現(xiàn)嵌入在晶片中的布線圖案的圖案對(duì)齊
●支持半導(dǎo)體工藝的高吞吐量要求
●支持槽口對(duì)齊功能
●小尺寸規(guī)格
●高精度自動(dòng)校準(zhǔn)單元
測(cè)量示例
TSV嵌入式圖形晶圓研磨后的硅厚度
晶圓厚度Φ300mm尺寸
特點(diǎn)
規(guī)格
測(cè)量示例
測(cè)量示例
