- 產(chǎn)品信息
- 式樣
- 測(cè)量實(shí)例
特點(diǎn)
可評(píng)價(jià)nｍ級(jí)的透明的異物?缺陷 一次拍照即可瞬時(shí)獲得深度方向的信息 無(wú)需對(duì)焦，可高速測(cè)量 可非破壞?非接觸?非侵入的測(cè)量 可在任意的面進(jìn)行高速掃描,輕松決定測(cè)量位置
規(guī)格
| 分辨率 x , y | 6 9 1n m（ 一次拍照）、4 8 8 n m（ 合成） |
| 視野 x , y | 7 0 0×7 0 0μm |
| 分辨率 z | |
| 視野 z | |
| 樣品尺寸 | 10 0×8 0×t 2 0 mm（安裝通用樣品架時(shí)） |
| 樣品臺(tái) | 微動(dòng)X Y樣品臺(tái)（自動(dòng)） X:±10 mm Y：±10 mm 粗動(dòng)樣品臺(tái) X：12 9 mm Y：8 5 mm |
| 激光 | 波長(zhǎng) 6 3 8 nm 輸出 0 .3 9 mW 以下 C la s s1 ( 對(duì)測(cè)量樣品的照射強(qiáng)度) |
| 尺寸（長(zhǎng)×寬×高）mm | 本體：5 0 5（W）×6 3 0（D）×4 3 9（H） ± 2 0 m m ※不含P C、附屬品 |
| 重量 | 41k g |
| 功耗 | 本體：2 9 0 VA ※不含P C、附屬品 |
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測(cè)量例
將肉眼無(wú)法看見(jiàn)的透明薄膜表面可視化?定量化
可以非接觸、非破壞性、非侵入性地獲得nm級(jí)的形狀信息。通過(guò)一次拍照即可獲取深度方向的信息，可以將透明薄膜表面上肉眼不可見(jiàn)的劃痕和缺陷的橫截面形狀數(shù)值化實(shí)現(xiàn)可視化。
觀察透明薄膜內(nèi)部的填充劑
肉眼無(wú)法看到的透明薄膜內(nèi)部的填充劑，通過(guò)一次拍照即可觀察到。此外，通過(guò)在測(cè)量后改變深度方向的焦點(diǎn)，可以識(shí)別到各個(gè)深度的填充劑。
